1、旋轉速度:
轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。
如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤勻膠機圖冊差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的,每次還不一樣,國產的大部分低端勻膠機只能提供轉速范圍,并不能標定實時的轉速。
2、 真空吸附系統的構造
真空泵一定要無油的,壓力標定準確。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。
用過勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題,這一點只有專業生產勻膠機做得不錯,他們有通過聯動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉。
3、 材質的選擇
對于半導體化工行業的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,大部分勻膠機采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。目前采用的是 PEEK|PSS材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點?!?/span>