愛姆加電子設備
勻膠顯影蝕刻專用設備生產商
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12英寸自動勻膠顯影機－愛姆加電子
發布時間: 2020-03-24 17:23
Pumping封裝、3D-TSV、MEMS、OLED等領域PR工藝涂膠膠顯影
Wafer Size: 12英寸全自動勻膠顯影一體機
設備和各工位全封閉設計，不受外環境干擾
晶圓涂膠（SPIN COATING）-顯影模
(SPIN DEV)-OVEN單元（冷熱板及增粘功能可選）
同片盒內每個硅片可分別制定工藝運行
自帶暫停/恢復功能,以及故障排除功能，排風自動調節（可選）
自動勻膠顯影機
使用范圍：
pumping封裝、3D-TSV、MEMS、OLED等領域PR工藝涂膠膠顯影；
產能：預估100wafer/H;
產品種類：晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物產品、邏輯類、存儲類芯片、
攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED領域。
· 全自勻膠顯影技術指標：
· 1、Camber根據用戶要求可選配
· 2、主軸速度:50-6000rpm
· 3、THC&FFU等功能
· 4、EBR&BSR功能
· 5、PR數量可選配（標配2路）
中國西安市未央區石化大道南徐寨工業園愛姆加電子
15891750928 / 029-8362-7399
51252494@qq.com
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