線性布局，自動傳片，自動完成去膠工藝。
晶圓尺寸根據用戶需求。
腔體共有三層，每層都有單獨的藥液排放 循環功能。
清洗多種金屬顆粒和有機物殘留。
藥液在循環中，根據顆粒大小配備相應過濾系統。
藥液恒溫，或在線加熱供給功能。

一、適應的藥液有以下幾種：

NMP液體--高溫高壓

DMSO液體--高溫高壓

IPA液體

DI-water

二、功能選擇：

片盒到片盒

進口機械手

CHAMBER采用耐酸堿材質

分層藥液排放，省液，提供了生產率

自動供液、補液。